KTD系列高真空油扩散泵

作者:兰州真空时间:2022-08-02点击:60次



       KTD系列高真空油扩散泵结构为凸腔形,可获得10-2~10-5高真空和超高真空,由于将水冷挡油帽与泵体组成一个整体提高了系统的有效抽速,节省了配置费用,具有抽速大,返油低,结构简单等特点。广泛应用于电子、冶金、真空镀膜、空间模拟等领域。


系列产品参数

型号项目

K-500TD

K-800TD

K-1000TD

  极限压力     Pa

≤5×10-5

  抽气速率 L/s 

单泵

≥10000

≥24000

≥38000

挡板

≥8000

≥20000

≥32000

  临界前级压力  Pa

≥40

  返油率 L/s

单泵

≤5×10-3

挡板

≤5×10-4

  加热功率     kW

6.9

15

24

  电源电压     V 

380

  冷却水用量   L/h

750

1200

1500

  泵油牌号

KS-3或275#硅油

  泵油用量    L

4.4~5

10

16

  推荐前级泵抽速 L/s

70

300

300

  外形尺寸 (L×W×H)

1065×680×1285

1700×1000×1955

2020×1290×2325

  重量      kg

85

170