JPC磁控镀膜系列

作者:甘肃真空设备有限公司时间:2022-09-22点击:83次

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※ 系列产品参数

型号项目

JPC-800L

JPC-1200

JPC-2000

  极限真空度   Pa

5.0×10-4 (清洁、干燥、空载)

  恢复真空时间  Pa

18(从大气~10-2Pa)

  基材

PET、PVC、PE等

  有效镀幅    mm

800

1200

2000

  最大卷径    mm

Φ350~Φ600

  镀膜速度   m/min

0.5~10

  磁控靶数目    只

3~5

  靶材    

ITO、铝、铜、镍、钛、二氧化硅等

  溅射压力    Pa

1~0.1

  溅射电压    V

300~600(D.C或MF)

  工作气体

Ar、 O2纯度99.99%

  气体流量控制方式

质量流量控制器