LDMYS 介质膜专用镀膜系列

作者:甘肃真空设备有限公司时间:2022-09-22点击:908次

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※ 系列产品参数

型号项目

LDMYS-1.1

LDMYS-1.35

  极限真空度   Pa

上室≤1.3×10-1    下室≤7.0×10-3

  工作真空度   Pa

上室≤7.0×10-1    下室≤6.7×10-2

  最大幅宽      mm

1100

1350

  最大卷径    Pa/h

Φ850

  蒸发舟数量   只

24

28

  蒸发舟材料

Mo

  卷绕基材    

PET

  镀膜材料

硫化锌/氧化硅等(ZnS/SiO2

  卷绕速度   m/min

0~800

  镀膜速度   m/min

60~500

  普冷机组    台

1

  深冷机组    台

1

  跑偏量      mm

≤±2