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真空炉系列产品
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真空退火炉
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LDMD单辊镀膜系列
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LDZY/LDZF镀纸系列
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LDMG感应蒸发镀膜系列
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LDMY悬浮镀膜系列
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LDMF悬浮镀膜系列
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LDMYS介质膜专用镀膜系列
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JPTD磁控镀膜系列
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JCP磁控镀膜系列
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DH系列多弧镀膜机
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JT系列磁控溅射镀膜机
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ZZD电阻蒸发镀膜系列
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真空获得
系列产品
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油扩散泵
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油增压泵
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机组
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空间环境模拟装备及真空专用设备
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低温产品
ZZD 电阻蒸发镀膜系列
※ 系列产品参数
型号项目
ZZD-1000
ZZD-1400
ZZD-1600
ZZD-2050
真空室规格 mm
Φ1000×1500
Φ1400×1900
Φ1600×2100
Φ2050×2900
极限压力 Pa
1×10
-3
工作压力 Pa
2×10
-2
恢复真空时间 min
≤10 (从大气至2×10
-2
Pa)
压升率 Pa/h
≤0.3
离子轰击源 KVA
4
4
12
20
蒸发源Ⅰ KVA
15
20
25
40
蒸发源Ⅱ KVA
15
20
27/18
45
蒸镀材料
Al和SiO
2
/MgO
2
工件转动方式
公转加自转(无级调速)
工件自转轴数
6
10
控制方式
PLC
PLC/PLC+计算机
冷却水量 m
3
/h
5
5
7
9
总功率 KW
~60
~85
~120
~200
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