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    ZZD 电阻蒸发镀膜系列     
  ※ 系列产品参数
型号项目
ZZD-1000
ZZD-1400
ZZD-1600
ZZD-2050
  真空室规格   mm
Φ1000×1500
Φ1400×1900
Φ1600×2100
Φ2050×2900
  极限压力    Pa
1×10-3
  工作压力    Pa
2×10-2
  恢复真空时间  min
≤10 (从大气至2×10-2Pa)
  压升率     Pa/h
≤0.3
  离子轰击源   KVA
4
4
12
20
  蒸发源Ⅰ    KVA
15
20
25
40
  蒸发源Ⅱ    KVA
15
20
27/18
45
  蒸镀材料
Al和SiO2/MgO2
  工件转动方式
公转加自转(无级调速)
  工件自转轴数
6
10
  控制方式
PLC
PLC/PLC+计算机
  冷却水量    m3/h
5
5
7
9
  总功率   KW     
~60
~85
~120
~200
    
 
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