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　　　 ZZD　电阻蒸发镀膜系列     
  ※　系列产品参数
型号项目
ZZD-1000
ZZD-1400
ZZD-1600
ZZD-2050
  真空室规格　　　mm
Φ1000×1500
Φ1400×1900
Φ1600×2100
Φ2050×2900
  极限压力　　　　Pa
1×10-3
  工作压力　　　　Pa
2×10-2
  恢复真空时间　　min
≤10 （从大气至2×10-2Pa）
  压升率　　　　　Pa/h
≤0.3
  离子轰击源　　　KVA
4
4
12
20
  蒸发源Ⅰ　　　　KVA
15
20
25
40
  蒸发源Ⅱ　　　　KVA
15
20
27/18
45
  蒸镀材料
Al和SiO2/MgO2
  工件转动方式
公转加自转（无级调速）
  工件自转轴数
6
10
  控制方式
PLC
PLC/PLC+计算机
  冷却水量　　　　m3/h
5
5
7
9
  总功率　  KW　　　　　
～60
～85
～120
～200
    
 
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