ZZD电阻蒸发镀膜系列
作者：甘肃真空设备有限公司时间：2022-09-22点击：2090次
※ 系列产品参数
型号项目 | ZZD-1000 | ZZD-1400 | ZZD-1600 | ZZD-2050 |
真空室规格 mm | Φ1000×1500 | Φ1400×1900 | Φ1600×2100 | Φ2050×2900 |
极限压力 Pa | 1×10-3 | |||
工作压力 Pa | 2×10-2 | |||
恢复真空时间 min | ≤10 （从大气至2×10-2Pa） | |||
压升率 Pa/h | ≤0.3 | |||
离子轰击源 KVA | 4 | 4 | 12 | 20 |
蒸发源Ⅰ KVA | 15 | 20 | 25 | 40 |
蒸发源Ⅱ KVA | 15 | 20 | 27/18 | 45 |
蒸镀材料 | Al和SiO2/MgO2 | |||
工件转动方式 | 公转加自转（无级调速） | |||
工件自转轴数 | 6 | 10 | ||
控制方式 | PLC | PLC/PLC+计算机 | ||
冷却水量 m3/h | 5 | 5 | 7 | 9 |
总功率 KW | ～60 | ～85 | ～120 | ～200 |
型号项目 | ZZD-1000 | ZZD-1400 | ZZD-1600 | ZZD-2050 |
真空室规格 mm | Φ1000×1500 | Φ1400×1900 | Φ1600×2100 | Φ2050×2900 |
极限压力 Pa | 1×10-3 | |||
工作压力 Pa | 2×10-2 | |||
恢复真空时间 min | ≤10 （从大气至2×10-2Pa） | |||
压升率 Pa/h | ≤0.3 | |||
离子轰击源 KVA | 4 | 4 | 12 | 20 |
蒸发源Ⅰ KVA | 15 | 20 | 25 | 40 |
蒸发源Ⅱ KVA | 15 | 20 | 27/18 | 45 |
蒸镀材料 | Al和SiO2/MgO2 | |||
工件转动方式 | 公转加自转（无级调速） | |||
工件自转轴数 | 6 | 10 | ||
控制方式 | PLC | PLC/PLC+计算机 | ||
冷却水量 m3/h | 5 | 5 | 7 | 9 |
总功率 KW | ～60 | ～85 | ～120 | ～200 |
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