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　　　 LDMYS　介质膜专用镀膜系列
※　系列产品参数
型号项目
LDMYS-1.1
LDMYS-1.35
  极限真空度　　　Pa
上室≤1.3×10-1 　　　下室≤7.0×10-3
  工作真空度　　　Pa
上室≤7.0×10-1 　　　下室≤6.7×10-2
  最大幅宽 　   　mm
1100
1350
  最大卷径　　　　Pa/h
Φ850
  蒸发舟数量　　　只
22
24
  蒸发舟材料
Mo
  卷绕基材　　　　
PET
  镀膜材料
硫化锌/氧化硅等（ZnS/SiO2）
  卷绕速度　　　m/min
0～800
  镀膜速度　　　m/min
60～500
  普冷机组　　　　台
1
  深冷机组　　　　台
1
  跑偏量 　　　 　mm
≤±2
    
 
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