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    LDMYS 介质膜专用镀膜系列
※ 系列产品参数
型号项目
LDMYS-1.1
LDMYS-1.35
  极限真空度   Pa
上室≤1.3×10-1    下室≤7.0×10-3
  工作真空度   Pa
上室≤7.0×10-1    下室≤6.7×10-2
  最大幅宽      mm
1100
1350
  最大卷径    Pa/h
Φ850
  蒸发舟数量   只
22
24
  蒸发舟材料
Mo
  卷绕基材    
PET
  镀膜材料
硫化锌/氧化硅等(ZnS/SiO2
  卷绕速度   m/min
0~800
  镀膜速度   m/min
60~500
  普冷机组    台
1
  深冷机组    台
1
  跑偏量      mm
≤±2
    
 
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