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    JPTD 磁控镀膜系列
  ※ 系列产品参数
型号项目
JPTD-1000L
JPTD-1000LA
JPTD-1000LC
  极限真空度   Pa
5.0×10-3(清洁、干燥、空载)
  恢复真空时间  Pa
18(从大气~10-2Pa)
  基材
PET、PVC、PE等
  有效镀幅    mm
500
650
800
  最大卷径    mm
Φ300
  镀膜速度   m/min
ITO靶0.5~1.5m/min 其它靶 5m/min(max)
  磁控靶数目    只
5
6
8
  靶材    
铟锡合金(黄铜、紫铜、镍、钛等选用)
  溅射压力    Pa
1~0.1
  溅射电压    V
300~600(D.C)
  工作气体
Ar、 O2纯度99.99%
  最大需用功率  KVA
52
55
78
  冷却水量    t/h
5    (入口压力0.15~0.2MPa,进水温度25℃以下)
  占地面积      mm
6850×5020×2600
7000×5020×2600
7250×5020×2600
    
 
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