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真空炉系列产品
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真空退火炉
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真空钎焊炉
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真空烧结炉
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真空热压炉
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其它
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真空镀膜系列产品
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LDMD单辊镀膜系列
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LDZY/LDZF镀纸系列
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LDMG感应蒸发镀膜系列
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LDMY悬浮镀膜系列
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LDMF悬浮镀膜系列
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LDMYS介质膜专用镀膜系列
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JPTD磁控镀膜系列
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JCP磁控镀膜系列
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DH系列多弧镀膜机
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JT系列磁控溅射镀膜机
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ZZD电阻蒸发镀膜系列
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真空获得
系列产品
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油扩散泵
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油增压泵
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机组
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空间环境模拟装备及真空专用设备
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低温产品
JPC 磁控镀膜系列
※ 系列产品参数
型号项目
JPC-800L
JPC-1200
JPC-2000
极限真空度 Pa
5.0×10
-4
(清洁、干燥、空载)
恢复真空时间 Pa
18(从大气~10
-2
Pa)
基材
PET、PVC、PE等
有效镀幅 mm
800
1200
2000
最大卷径 mm
Φ350~Φ600
镀膜速度 m/min
0.5~10
磁控靶数目 只
3~5
靶材
ITO、铝、铜、镍、钛、二氧化硅等
溅射压力 Pa
1~0.1
溅射电压 V
300~600(D.C或MF)
工作气体
Ar、 O
2
纯度99.99%
气体流量控制方式
质量流量控制器
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