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    JPC　磁控镀膜系列
※　系列产品参数
型号项目
JPC-800L
JPC-1200
JPC-2000
  极限真空度　　　Pa
5.0×10-4 （清洁、干燥、空载）
  恢复真空时间　　Pa
18（从大气～10-2Pa）
  基材
PET、PVC、PE等
  有效镀幅　　　　mm
800
1200
2000
  最大卷径　　　　mm
Φ350～Φ600
  镀膜速度　　　m/min
0.5～10
  磁控靶数目 　 　只
3～5
  靶材　　　　
ITO、铝、铜、镍、钛、二氧化硅等
  溅射压力　　　　Pa
1～0.1
  溅射电压　　　　V
300～600（D.C或MF）
  工作气体
Ar、 O2纯度99.99%
  气体流量控制方式
质量流量控制器
 
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