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    JPC 磁控镀膜系列
※ 系列产品参数
型号项目
JPC-800L
JPC-1200
JPC-2000
  极限真空度   Pa
5.0×10-4 (清洁、干燥、空载)
  恢复真空时间  Pa
18(从大气~10-2Pa)
  基材
PET、PVC、PE等
  有效镀幅    mm
800
1200
2000
  最大卷径    mm
Φ350~Φ600
  镀膜速度   m/min
0.5~10
  磁控靶数目    只
3~5
  靶材    
ITO、铝、铜、镍、钛、二氧化硅等
  溅射压力    Pa
1~0.1
  溅射电压    V
300~600(D.C或MF)
  工作气体
Ar、 O2纯度99.99%
  气体流量控制方式
质量流量控制器
 
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