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真空炉系列产品
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真空退火炉
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LDMD单辊镀膜系列
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LDZY/LDZF镀纸系列
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LDMG感应蒸发镀膜系列
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LDMY悬浮镀膜系列
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LDMF悬浮镀膜系列
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LDMYS介质膜专用镀膜系列
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JPTD磁控镀膜系列
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JCP磁控镀膜系列
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DH系列多弧镀膜机
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JT系列磁控溅射镀膜机
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ZZD电阻蒸发镀膜系列
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真空获得
系列产品
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油扩散泵
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油增压泵
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机组
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空间环境模拟装备及真空专用设备
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低温产品
DH系列多弧镀膜机
※ 系列产品参数
型号项目
DH-8
DH-14
DH-18
DH-26
DH-26A
真空室尺寸 mm
Φ800×1100
Φ1250×1500
Φ1600×1750
Φ1600×2250
Φ2600×2100
多弧靶数量 只
8
14
18
26
26
极限压力 Pa
1.5×10
-3
工作压力 Pa
1.2×10
-2
恢复真空时间 min
15(大气~10
-3
Pa)
工作转动 rpm
公转、自转/二次自转
工作气体
Ar 纯度99.99%
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