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    DH系列多弧镀膜机    
  ※ 系列产品参数
型号项目
DH-8
DH-14
DH-18
DH-26
DH-26A
  真空室尺寸   mm
Φ800×1100
Φ1250×1500
Φ1600×1750
Φ1600×2250
Φ2600×2100
  多弧靶数量   只
8
14
18
26
26
  极限压力      Pa

1.5×10-3

  工作压力      Pa
1.2×10-2
  恢复真空时间  min
15(大气~10-3Pa)
  工作转动     rpm
公转、自转/二次自转
  工作气体
Ar 纯度99.99%
    
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
 
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